ابزار جریان MFM & MFC
نوع دستگاه جریان یا کنترل کننده جریان که انتخاب می کنید بستگی به نوع گاز و رنج اندازه گیری دارد:
- ابزارهای جریان جرمی حرارتی از 5 میلی گرم در ساعت - 1 کیلوگرم در ساعت
- ابزار جریان جرمی کوریولیس 50 میلی گرم در ساعت - 600 کیلوگرم در ساعت
- ابزارهای جریان حجمی بر اساس فناوری موج اولتراسونیک از 2 میلی لیتر در دقیقه - 1500 میلی لیتر در دقیقه
- ابزارهای مبتنی بر گرداب ، الکترومغناطیس و اصول کار اولتراسونیک تا 250 لیتر در دقیقه
مشخصات فنی MFC
بدنه های کم جریان اغلب از یک قطعه از میله فولاد ضد زنگ ساخته می شوند. برای آگاهی از اندازه نسبتاً جمع و جور آنها ، MFC ها دارای عرض و طول تقریبی زیر هستند (شامل اتصالات ورودی و خروجی):
- جریان کم : 1.0 W x 3.0 L اینچ (25 W 76 76 L میلی متر) ؛
- جریان متوسط : 1.5 وات 4.5 4.5 لیتر اینچ (38 وات 11 114 لیتر میلی متر) ؛
- جریان بالا : 3.0 W x 9.0 L اینچ (76 W x 229 L میلی متر).
MFM ها معمولاً عرض های یکسانی دارند اما در اندازه های جریان متوسط و زیاد ، حدود دو سوم طول دارند.
اتصالات MFM & MFC
بدنه جریان دارای اتصالات مجرای ورودی و خروجی است و قسمت تهویه جریان ، لوله سنسور ، عنصر جریان بای پس/ورقه ای و در مورد MFC ها ، شیر کنترل را در خود جای داده است.
قطعات الکترونیکی در محفظه خود در بالای بدنه جریان نصب شده اند. قسمت های خیس شده یک بدنه جریان معمولی و اجزای داخلی آن از مواد مقاوم در برابر خوردگی ساخته شده است.
مواد مرطوب معمولی برای بدنه جریان MFM ها و MFC های عمومی عبارتند از:
- فولاد ضد زنگ 316 لیتر
- فولاد ضد زنگ فرو مغناطیسی در شیر
- حلقه های O و صندلی های سوپاپ فلورواستومرها
- سایر مواد الاستومری پیشرفته.
برخی از ابزارهای کم هزینه که برای کاربردهای سبک و دقت کمتر در نظر گرفته شده اند دارای بدنه ای از جنس پلاستیک یا آلومینیوم هستند. ابزارهای دارای مهر و موم الاستومری در سراسر بدن جریان دارای نرخ نسبتاً کمی از نشت در داخل و خارج از بدنه جریان هستند.
MFM ها و MFC های مورد استفاده در فرآیندهای خلاء از مهر و موم فلزی در تمام نقاط بدنه جریان برای کاهش بیشتر میزان نشت استفاده می کنند.
تولیدکنندگان باید هر دستگاهی را با استفاده از دستگاه نشت یاب طیف سنج جرمی یا ابزار معادل آن تحت بررسی نشت هلیوم قرار دهند.
علاوه بر این ، همه ابزارها باید با استانداردها و کدهای تجهیزات قابل فشار مطابقت داشته باشند ، و سازندگان باید تمام ابزارها را برای اطمینان از انطباق آزمایش کنند.
خطوط فرآیند
معمولاً لوله هایی با قطر خارجی 1/8 ، 1/4 ، 3/8 ، 1/2 ، 3/4 و 1 اینچ (6 ، 10 ، 12 و 20 میلی متر) هستند. اندازه لوله 1/4 اینچ (6 میلی متر) رایج ترین است.
برخی از MFM ها که با نرخ جریان بسیار بالا کار می کنند در اندازه های ویفر و لوله های فلنج موجود هستند. تولیدکنندگان مجموعه وسیعی از اتصالات لوله فرآیندی ، از جمله اتصالات فشرده سازی ، اتصالات مهر و موم با حلقه الاستومری اتصالات مهر و موم واشر فلزی را ارائه می دهند.
از آنجا که اتصالات ورودی و خروجی به افت فشار در ابزارها کمک می کند ، اندازه یراق آلات باید تا حد امکان در محدودیت های اعمال شده توسط اندازه خط فرآیند بزرگ باشد.
MFC های نیمه هادی
MFC های نیمه رسانا اغلب دارای فیلتر ذرات ، تنظیم کننده فشار و یک سوپاپ خاموش مثبت در بالادست دستگاه هستند و ممکن است یک سوپاپ خاموش کننده مثبت و تنظیم کننده فشار در پایین دست نصب شده باشد. ابزارهای عمومی نیز ممکن است اجزای جریان جانبی را در نصب خود شامل شوند.
الزامات کاربرد MFC
MFC های نیمه رسانا که در ساخت دستگاه های نیمه رسانای درجه یک استفاده می شوند دارای چندین الزام خاص هستند تا اطمینان حاصل شود که:
- هیچ ذره ای یا آلاینده دیگری وارد فرایند ساخت نمی شود.
- هیچ گاز فرآیند سمی از MFC فرار نمی کند.
- و هیچ هوای محیطی وارد فرایند نمی شود.
مشخصات MFC
معمولا عبارتند از:
- سطوح خیس باید دارای خلوص بالا و صیقلی بالا باشند (زبری سطح در محدوده حدود 4 تا 10 میکرو اینچ Ra (0.1 تا 0.25 میکرومتر Ra) ؛
- نرخ نشت باید بسیار کم باشد ؛
- و مسیرهای جریان داخلی ، نباید دارای گوشه های تیز ، حفره ها یا فضاهای مرده باشد که در آن ذرات ایجاد شوند.
MFC های نیمه هادی در دو حالت خطی و پایینی در دسترس هستند. نسخه های پایین پورت ابعاد محوری MFC و جریان کمکی آن را کاهش می دهد. اجزای سازنده ، در نتیجه تراکم مورد نیاز سازندگان تجهیزات نیمه هادی را تسهیل می کند.
سایت کالا صنعتی آماده ی ارائه ی خدمات ذر زمینه ی کنترل کننده های جریان سنج جرمی با تنوع برند های معتبر دنیا نظیر کرونه و برونخوست و کوبولد و بروکس و سریان امریکا و امکان ارسال کالا به تمامی نقاط صنعتی و پالایشگاهی حتی در دورترین نقاط کشور عزیزمان ایران می باشد. در صورت هرگونه سوال و ابهام با کارشناسان ما در ارتباط باشید.